Подбор материалов мишеней под требуемые параметры покрытия
Обсуждение подложки, диапазона, цвета, отражения и пропускания
Переход от тестовых образцов к серийной повторяемости
Магнетронные системы для оптических покрытий
В оптике покупают не вакуумную камеру. Покупают отражение, пропускание, цвет и повторяемость в допуске.
На примере выше система HD-CK1800H для: aa AR, aa NCVM, aa оптических фильтров различных типов. Подложки: стекло, PET, PV, PI и другие. Материалы: SiO2 / Nb2O5 / TiO2 / SiNx / Si / Cr / In / S. Типичные характеристики: 400–700 нм, R ≤ 0,6 %, T ≥ 95 %, ΔE < 1,5.
На примере выше система HD-CK1800H для: AR AR, NC NCVM, NC оптических фильтров различных типов. Подложки: стекло, PET, PV, PI и другие. Материалы: SiO2 / Nb2O5 / TiO2 / SiNx / Si / Cr / In / S. Типичные характеристики: 400–700 нм, R ≤ 0,6 %, T ≥ 95 %, ΔE < 1,5.
Когда параметры “плавают”, маржа исчезает ещё до отгрузки.